EDS谱图通常是一个X射线强度（纵轴）对能量（横轴，单位keV）的图表。解读的核心在于识别“峰”的位置和高度。 定性分析（看峰位，定元素） 1）特征峰识别 谱图中出现的每一个尖峰都代表一种特定的元素。软件通常会自动标定（如“Fe K”、“O K”），但你需要人工核对。 2）低能区（< 2 keV） 通常包含轻元素，如C（碳）、N（氮）、O（氧）、Na（钠）、Mg（镁）、Al（铝）、Si（硅）。 3）高能区（> 2 keV） 通常是过渡金属（如Fe、Cu、Ti）和重元素。 4）避坑指南（常见假峰/干扰）： ① C和O峰 几乎在所有样品中都能看到。如果含量不高，通常来自样品表面的碳膜、空气中的吸附物或油脂污染，不一定是样品本身的成分。 ② Cu峰 如果你使用的是铜载网，出现Cu峰是正常的背景信号。 ③ 重叠峰 某些元素的峰位置非常接近，容易误判。例如，Ti的Kα峰和Ba的Lα峰重叠，或者S的Kα峰和Mo的Lα峰重叠。这时需要结合工艺背景或查看该元素的其他次级峰来确认。 定量分析（看高度，算含量） 1）峰高/面积 峰下的面积（或高度）与该元素的含量成正比。 2）原子百分比 (Atom%) vs 重量百分比 (Weight%) ① Weight%：元素的质量占比。 ② Atom%：元素的原子个数占比。 注意 EDS对轻元素（C, N, O）的定量误差较大，因为它们的X射线产额低且易被吸收，结果通常只能作为半定量参考。 #科研检测 #生化环材 #实验室仪器 #材料测试 #EDS能谱 #eds能谱 #SEM测试 #TEM测试 #扫描电镜SEM #透射电镜TEM